第(3/3)节    因此需要强大光源，来保证射线光源足够强。

    另外极紫外光波长为135n，由于容易被镜头玻璃等材料吸收，还会被空气和气体吸引影响折射率变化。

    腔体需要采用真空系统。

    投影光学系统则必须使用反射镜代替透镜，这使得反射镜的精度要求很高，同时制造成本昂贵。

    掩膜方面因为极紫外光线的特殊性，普通掩膜版非常容易破坏，这就需要研发出特殊的掩膜版。

    可以说这几项问题每个单独拿出来，都需要研究所进行大量长时间的研究。

    并且还不见得一定会有成果。

    足可见制造整台极紫外高端光刻机的难度。

    也怪不得海外半导体领域有恃无恐，并不担心他们能够实现高端芯片制造产业链国产化。

    幸好高端光刻胶的问题已经解决，否则便相当于是又增加了难度。

    徐昀弄清楚这些的同时自然也有了方向，这时面对罗长辉的询问并未隐瞒什么，当即便大方讲出了自己接下来的规划。

    “我打算先解决光源问题。”

    在场的研究员很清楚这些问题都要解决，先主攻哪个并无多大区别。

    自然不会对徐昀的决定提出质疑。

    相反听到这个答案后纷纷点头表示附和。
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